衬底温度对磁控溅射法制备掺Ta氧化锌薄膜性能的影响

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杨天琦;李翠平;曹菲菲

Effect of Substrate Temperature on the Properties of Ta-doped ZnO Thin Films Deposited by Radio Frequency Magnetron Sputtering Method

YANG Tian-qi;LI Cui-ping;CAO Fei-fei

人工晶体学报 . 2017, (9): 1714 -1719 .