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ø300 mm直拉硅单晶生长过程中的变晶现象及其影响因素
张晶, 刘丁
Crystalloblast and Its Affecting Factors in
ø
300 mm Czochralski Silicon Single Crystal Growth
ZHANG Jing, LIU Ding
人工晶体学报 . 2022, (
7
): 1185 -1193 .
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