人工晶体学报 ›› 2026, Vol. 55 ›› Issue (8): 1321-1321.DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2026.0143
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富加镓业, 齐红基
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富加镓业, 齐红基. 富加镓业成功将氧化镓外延薄膜边界拓展至12英寸[J]. 人工晶体学报, 2026, 55(8): 1321-1321.
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图1 8英寸（左）与12英寸（右）氧化镓外延厚度分布对比
图2 8英寸氧化镓同质外延表面粗糙度（AFM）（a）及XRD摇摆曲线（FWHM=64.8″）（b）
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