人工晶体学报 ›› 2026, Vol. 55 ›› Issue (9): 1490-1490.DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2026.0172
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齐红基
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齐红基. 富加镓业成功生长等径厚度逾70 mm的6英寸氧化镓晶锭[J]. 人工晶体学报, 2026, 55(9): 1490-1490.
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图1 VB法6英寸氧化镓衬底HRXRD多点摇摆曲线测试结果
图2 VB法6英寸氧化镓衬底电学性能测试结果
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