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人工晶体学报 ›› 1999, Vol. 28 ›› Issue (3): 249-252.

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温梯法Al2O3晶体位错形貌分析

周国清;徐军;邓佩珍;徐科;周永宗;干福熹;朱人元;田玉莲;蒋建华;王洲光   

  1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;美国加州理工学院;中国科学院高能物理研究所,北京,100039
  • 出版日期:1999-03-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家科技攻关项目

Topography Analysis of Dislocation in Al2O3 Crystal by Temperature Gradient Technique

Zhou Guoqing;Xu Jun;Deng Peizhen;Xu Ke;Zhou Yongzong;Gan Fuxi;Zhu Renyuan;Tian Yulian;Jiang Jianhua;Wang Zhouguang   

  • Online:1999-03-15 Published:2021-01-20

摘要: 用温度梯度法(Temperature Gradient Technique,简称温梯法或TGT法),定向籽晶[0001]方向,生长出φ110mm×80mm Al2O3单晶,晶体完整、透明.采用硼酸钠玻璃液作为Al2O3晶体的化学抛光和化学腐蚀剂,观察了晶体不同部位处(0001)、(112-0)晶片的化学腐蚀形貌相,(0001)切片的位错腐蚀坑呈三角形,位错密度为2×103~3×103/cm2;(112-0)切片位错腐蚀坑呈菱形,位错密度为7×103~8×103/cm2;而且等径生长部位的完整性比放肩处高.利用同步辐射X射线白光衍射实验分析了(0001)晶片的(2-021),(11-01)和(112-0)衍射面内的位错组态.确定了两组位错线的Burgers矢量,温梯法生长的Al2O3晶体中的位错主要是刃型位错.

关键词: Al2O3晶体;位错;腐蚀;衍射衬度;温梯法

中图分类号: