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人工晶体学报 ›› 1999, Vol. 28 ›› Issue (4): 364-367.

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稀释气体Ar对金刚石薄膜沉积质量的影响

张伟;赵业权;高军   

  1. 哈尔滨工业大学航天学院,哈尔滨,150001;中国空间技术研究院508所,北京,100076
  • 出版日期:1999-04-15 发布日期:2021-01-20

Effect of Dilute Ar Gas on CVD Diamond Films Quality

Zhang Wei;Zhao Yequan;Gao Jun   

  • Online:1999-04-15 Published:2021-01-20

摘要: 本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中,稀释气体Ar对沉积质量的影响.发现在成膜过程中适当量的Ar起到增大内焰体积、降低沉积速率和提高晶型质量的作用.文中分析了其原因,并实现了利用Ar来控制高质量金刚石薄膜的生长.

关键词: 燃烧焰法;金刚石薄膜;稀释气体

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