欢迎访问《人工晶体学报》官方网站,今天是 分享到:

人工晶体学报 ›› 2002, Vol. 31 ›› Issue (5): 436-439.

• • 上一篇    下一篇

常温下脉冲激光沉积氮化硼薄膜研究

王金斌;张灿云;钟向丽;杨国伟   

  1. 湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭,411105
  • 出版日期:2002-10-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(50072022);湖南省教育厅科研项目(01C061)

Study of Deposition of Boron Nitride Films by Pulsed-laser at Room Temperature

  • Online:2002-10-15 Published:2021-01-20

摘要: 由于氮化硼特别是立方氮化硼(c-BN)的独特性质和广泛的应用前景,一直受到材料研究工作者的广泛关注.本研究利用脉冲激光在室温下沉积出立方氮化硼薄膜,傅立叶变换红外光谱和X射线衍射分析表明在所制备的氮化硼薄膜中,立方相的含量很高;同时,该研究还观察到了氮化硼的另一种高压相-爆炸结构氮化硼(Explosive-BN,E-BN).本研究同时还讨论了氮化硼薄膜生长的原理.

关键词: 脉冲激光沉积;室温;立方氮化硼;爆炸结构氮化硼

中图分类号: