欢迎访问《人工晶体学报》官方网站,今天是 分享到:

人工晶体学报 ›› 2003, Vol. 32 ›› Issue (4): 382-385.

• • 上一篇    下一篇

高质量金刚石膜在无氧铜衬底上的MPCVD

常开朋;程文娟;江锦春;张阳;朱鹤孙;沈德忠   

  1. 清华大学化学系,功能晶体与薄膜研究所,北京,100084
  • 出版日期:2003-08-15 发布日期:2021-01-20

Growth of High Quality Diamond Films on Cu Metal Substrates by MPCVD

  • Online:2003-08-15 Published:2021-01-20

摘要: 本文采用高纯无氧铜(Cu)片作为基片,用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,制备出了高质量多晶金刚石膜.用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱和X射线衍射谱(XRD)对制备的金刚石膜进行了表征与分析,其结果证明金刚石膜具有较优的质量.

关键词: 金刚石薄膜;无氧铜;微波等离子体化学气相沉积

中图分类号: