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人工晶体学报 ›› 2003, Vol. 32 ›› Issue (4): 405-407.

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白宝石(Al2O3)晶体基片用抛光液的研制及加工工艺

张向东;赵海法;江晓平;张革   

  1. 东北微电子研究所,沈阳,110031;沈阳科晶设备制造有限公司,沈阳,110179
  • 出版日期:2003-08-15 发布日期:2021-01-20

Development of Polishing Solution and Processing Technique for Al2O3 Substrates

  • Online:2003-08-15 Published:2021-01-20

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