VTE法制备γ-LiAlO2/α-Al2 O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响

人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (2): 250-254.

VTE法制备γ-LiAlO2/α-Al2 O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响

刘世良;李抒智;周圣明;王银珍;彭观良;徐军

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

出版日期:2005-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
中国科学院"百人计划"

VTE Preparation of Compound Substrates of γ-LiAlO2/α-Al2O3 and Influence of Erosion and Annealing

LIU Shi-liang;LI Shu-zhi;ZHOU Sheng-ming;WANG Yin-zhen;PENG Guan-liang;XU Jun

Online:2005-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 通过气相传输平衡法(VTE)制备了γ-LiAlO2/α-Al2O3复合衬底,使用5;的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h.利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11-20)和γ面(1-102)均获得单相多晶的γ-LiAlO2,且后者的择优取向好于前者.腐蚀可以提高样品的择优取向,在5;的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果.退火后γ-LiAlO2颗粒质量得到改善,白宝石a面上γ-LiAlO2的质量优于r面上的γ-LiAlO2,两者都出现颗粒长大现象.

中图分类号:

O793

刘世良;李抒智;周圣明;王银珍;彭观良;徐军. VTE法制备γ-LiAlO2/α-Al2 O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(2): 250-254.

LIU Shi-liang;LI Shu-zhi;ZHOU Sheng-ming;WANG Yin-zhen;PENG Guan-liang;XU Jun. VTE Preparation of Compound Substrates of γ-LiAlO2/α-Al2O3 and Influence of Erosion and Annealing[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2005, 34(2): 250-254.

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