c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO2层质量的影响

人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (5): 833-837.

c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO2层质量的影响

彭观良;李抒智;庄漪;邹军;王银珍;刘世良;周国清;周圣明;徐军;干福熹

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

出版日期:2005-10-15 发布日期:2021-01-20

Effect of Surface Morphology of c-plane Sapphire Substrate on Quality of γ-LiAlO2 Layer Fabricated by Vapor Transport Equilibration Technique

PENG Guan-liang;LI Shu-zhi;ZHUANG Yi;ZOU Jun;WANG Yin-zhen;LIU Shi-liang;ZHOU Guo-qing;ZHOU Sheng-ming;XU Jun;GAN Fu-xi

Online:2005-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层.研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素.要制备高质量的γ-LiAlO2层,适度的表面粗糙度是恰当的.对白宝石衬底进行退火处理,γ-LiAlO2层的择优取向变差.并对其中可能的机理进行了探讨.

中图分类号:

O771

彭观良;李抒智;庄漪;邹军;王银珍;刘世良;周国清;周圣明;徐军;干福熹. c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO2层质量的影响[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(5): 833-837.

PENG Guan-liang;LI Shu-zhi;ZHUANG Yi;ZOU Jun;WANG Yin-zhen;LIU Shi-liang;ZHOU Guo-qing;ZHOU Sheng-ming;XU Jun;GAN Fu-xi. Effect of Surface Morphology of c-plane Sapphire Substrate on Quality of γ-LiAlO2 Layer Fabricated by Vapor Transport Equilibration Technique[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2005, 34(5): 833-837.

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