Si基外延GaN中缺陷的腐蚀研究

人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (6): 1079-1082.

Si基外延GaN中缺陷的腐蚀研究

赵丽伟;刘彩池;滕晓云;朱军山;郝秋艳;孙世龙;王海云;徐岳生;胡家辉;冯玉春;郭宝平

河北工业大学信息功能材料研究所,天津,300130;深圳大学光电子学研究所,深圳,518060

出版日期:2005-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
教育部跨世纪优秀人才培养计划;河北省自然科学基金(E2005000042)

Study on Defects in GaN Grown on Silicon

ZHAO Li-wei;LIU Cai-chi;TENG Xiao-yun;ZHU Jun-shan;HAO Qiu-yan;SUN Shi-long;WANG Hai-yun;XU Yue-sheng;HU Jia-hui;FENG Yu-chun;GUO Bao-ping

Online:2005-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文采用KOH:H2O=3:20～1:25(质量比)的KOH溶液,对Si基外延GaN进行湿法腐蚀.腐蚀后用扫描电子显微镜(SEM)观察,GaN面出现了六角腐蚀坑,它是外延层中的位错露头,密度约108/cm2.腐蚀坑的密度随腐蚀时间延长而增加,说明GaN外延生长过程中位错密度是逐渐降低的,部分位错因相互作用而终止于GaN体内.观察缺陷腐蚀形貌还发现,接近裂纹处腐蚀坑的密度要高于远离裂纹处腐蚀坑的密度,围绕裂纹有许多由裂纹引起的位错.腐蚀坑的密度可以很好地反映GaN晶体的质量.晶体质量较差的GaN片,腐蚀后其六角腐蚀坑的密度高.

中图分类号:

TN304

赵丽伟;刘彩池;滕晓云;朱军山;郝秋艳;孙世龙;王海云;徐岳生;胡家辉;冯玉春;郭宝平. Si基外延GaN中缺陷的腐蚀研究[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(6): 1079-1082.

ZHAO Li-wei;LIU Cai-chi;TENG Xiao-yun;ZHU Jun-shan;HAO Qiu-yan;SUN Shi-long;WANG Hai-yun;XU Yue-sheng;HU Jia-hui;FENG Yu-chun;GUO Bao-ping. Study on Defects in GaN Grown on Silicon[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2005, 34(6): 1079-1082.

[1]	李阳, 曹昆, 介万奇. 热处理GaSb衬底对近距离升华法制备CdZnTe外延膜的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1705-1711.
[2]	吴蕊, 胡洋, 唐荣芬, 阳倩, 王序, 吴怡逸, 聂登攀, 王环江. MOCVD生长ZnO薄膜的气相寄生反应路径研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1608-1619.
[3]	钟琼丽, 王绪, 马奎, 杨发顺. Al掺杂对β-Ga₂O₃薄膜光学性质的影响研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1352-1360.
[4]	康杰, 丁紫阳, 王晓燕, 李连荣, 孙为云, 焦璨, 宋月鹏. 腐蚀法制备SiC量子点粒径调控及尺寸对其光学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(4): 684-691.
[5]	李传皓, 李忠辉, 彭大青, 张东国, 杨乾坤, 罗伟科. 大尺寸GaN微波材料范德瓦耳斯外延机理及应力调控研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(2): 252-257.
[6]	马玉麟, 郭祥, 丁召. GaAsBi半导体材料的制备及应用研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(1): 25-37.
[7]	赵小玻, 韦中华, 张旭, 钱纁, 于浩海. 化学气相沉积ZnS、ZnSe研究进展[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(12): 2125-2134.
[8]	王黎光, 芮阳, 盛旺, 马吟霜, 马成, 陈炜南, 邹啟鹏, 杜朋轩, 黄柳青, 罗学涛. 横向磁场下坩埚转速对半导体级直拉单晶硅熔体中流场与氧浓度的影响机制[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(9): 1641-1650.
[9]	聂凡, 韩硕, 曾冬梅. 双轴应变对单层CdZnTe电子特性和光学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(8): 1394-1399.
[10]	陈根强, 赵浠翔, 于众成, 李政, 魏强, 林芳, 王宏兴. 异质外延单晶金刚石及其相关电子器件的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(6): 931-944.
[11]	宋长坤, 黄晓莹, 陈英鑫, 喻颖, 余思远. 半导体单量子点的分子束外延生长及调控[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(6): 982-996.
[12]	彭大青, 李忠辉, 蔡利康, 李传皓, 杨乾坤, 张东国, 罗伟科. 基于复合势垒的AlGaN/GaN异质结材料的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(5): 746-752.
[13]	吴锐文, 宋华平, 杨军伟, 屈红霞, 赖晓芳. 基于聚氨酯垫的4H-SiC单晶衬底研磨性质研究[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(5): 759-765.
[14]	殷鑫燕, 陈鹏, 梁子彤, 赵红. MOCVD外延生长InN薄膜及其光学性质研究[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(5): 791-797.
[15]	屈鹏霏, 金鹏, 周广迪, 王镇, 许敦洲, 吴巨, 郑红军, 王占国. 单晶金刚石异质外延用铱复合衬底研究现状[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(5): 857-877.