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人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (6): 963-967.

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纳米Ge薄膜的制备及光致发光特性研究

高立刚;杨宇   

  1. 云南大学化学与材料工程学院,昆明,650091
  • 出版日期:2005-12-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    云南省科技计划(2001G06);中国科学院资助项目(60567001)

Preparation and Characterization of Nanocrystalline Ge Thin Films

GAO Li-gang;YANG Yu   

  • Online:2005-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用直流磁控溅射技术在不同生长温度制备了一系列的Ge薄膜.应用拉曼散射、X射线衍射、光致发光等技术表征薄膜的结构.结果表明:Ge薄膜的结晶温度约为380℃,并且随着生长温度的升高,Ge的结晶性变好,晶粒长大;对不同尺寸Ge薄膜的光致发光研究表明:随着纳米Ge晶粒尺寸的减小,光致发光峰的相对强度逐渐增强,且发光峰位发生蓝移.用有效质量近似模型讨论了量子尺寸效应和介电限域效应对纳米Ge颗粒发光特性的影响.

关键词: 磁控溅射;纳米Ge薄膜;拉曼散射;X射线衍射;光致发光

中图分类号: