HFCVD系统中衬底接触热阻的研究

人工晶体学报 ›› 2007, Vol. 36 ›› Issue (1): 27-31.

HFCVD系统中衬底接触热阻的研究

李磊;左敦稳;徐锋;黎向锋;卢文壮

南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2007-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50275076)

Determination of Thermal Contact Resistance between Substrate and Its Support in Hot Filament CVD

LI Lei;ZUO Dun-wen;XU Feng;LI Xiang-feng;LU Wen-zhuang

Online:2007-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 建立了热丝CVD大面积金刚石膜沉积的衬底温度场模型,对影响衬底温度场的接触热阻及其他相关沉积参数进行了模拟计算.根据实验结果,对接触热阻的计算公式进行了修正.当ζ=0.75时,计算结果和实验结果基本上吻合.在仿真条件下,考虑衬底三维热传导以及热丝温度的不均匀分布使衬底温度场的均匀性明显优于纯热辐射下的温度场.这些计算结果为制备大面积高质量的金刚石薄膜提供了理论基础.

中图分类号:

O484

李磊;左敦稳;徐锋;黎向锋;卢文壮. HFCVD系统中衬底接触热阻的研究[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(1): 27-31.

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