溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的特性研究

人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (4): 1003-1007.

溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的特性研究

肖宗湖;ZHANG Meng;郭米艳

南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330031

出版日期:2008-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
教育部高校骨干教师资助计划(GG-430-11902-1010)

Investigation on Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-gel Progress

XIAO Zong-hu;ZHANG Meng;GUO Mi-yan

Online:2008-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用Sol-gel法,在普通载玻片上使用旋转涂覆技术生长了具有c轴择优取向生长的ZnO薄膜.用热分析、XRD、SEM等手段对薄膜样品进行了表征.热分析结果表明:二水醋酸锌-乙醇胺-乙二醇甲醚体系Sol-gel的热分解过程与纯二水合乙酸锌的分解过程大相径庭.ZnO薄膜的Sol-gel分解趋于在较窄的温度范围内一步完成.在Si(111)衬底和玻璃衬底上生长了ZnO薄膜,都表现出明显的c轴择优取向生长.对比了不同涂覆层数对ZnO薄膜结构及表面形貌的影响,ZnO薄膜的c轴择优取向生长特性随着涂覆层数的增加而减弱,这是由于ZnO薄膜的生长模式由层状生长向岛状生长转变所致.ZnO薄膜在可见光范围的透光率超过85;.

中图分类号:

O484

肖宗湖;ZHANG Meng;郭米艳. 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的特性研究[J]. 人工晶体学报, 2008, 37(4): 1003-1007.

XIAO Zong-hu;ZHANG Meng;GUO Mi-yan. Investigation on Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-gel Progress[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2008, 37(4): 1003-1007.

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