过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响

人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (4): 942-945.

过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响

ZHANG Xin-yue;姚宁;WANG Ying-jian;张兵临

郑州大学,材料物理教育部重点实验室

出版日期:2008-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
教育部科学技术研究重点项目(250091);郑州航空工业管理学院校科研和教改项目(Q07L067)

Effect of Transition Layer on Electron Field Emission Characteristics of Nano-structure Amorphous Carbon Film

ZHANG Xin-yue;YAO Ning;WANG Ying-jian;ZHANG Bing-lin

Online:2008-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用微波等离子体化学气相沉积法在经研磨处理后的Si(111)面上制备出了纳米非晶碳薄膜.为改善薄膜的场发射性能,在研磨好的Si基底上运用直流磁控溅射法沉积了一层金属过渡层.本文分别选择三种常见金属:钛(Ti)、鉬(Mo)、镍(Ni)来作对比试验.结果发现用钛作为过渡层时薄膜场发射效果最好,主要表现为开启电场低,同一电场下发射电流大,发射点密度较大且分布均匀等.利用迭代法计算了钛作为过渡层时制备的纳米非晶碳薄膜的有效发射面积和功函数.

中图分类号:

O484

ZHANG Xin-yue;姚宁;WANG Ying-jian;张兵临. 过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2008, 37(4): 942-945.

ZHANG Xin-yue;YAO Ning;WANG Ying-jian;ZHANG Bing-lin. Effect of Transition Layer on Electron Field Emission Characteristics of Nano-structure Amorphous Carbon Film[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2008, 37(4): 942-945.

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