金刚石膜超高速抛光温度场的有限元模拟

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (1): 152-158.

金刚石膜超高速抛光温度场的有限元模拟

周丽;黄树涛;许立福;焦可如

沈阳理工大学机械工程学院,沈阳,110168

出版日期:2009-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50675142)

Finite Element Simulation of the Temperature Fields during Super-high Speed Polishing of Diamond Films

ZHOU Li;HUANG Shu-tao;XU Li-fu;JIAO Ke-ru

Online:2009-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 金刚石膜超高速抛光是一种新的抛光方法,抛光区域温度场分布直接影响金刚石膜的抛光质量.本文采用三维热-力耦合有限元法分析了抛光盘超高速旋转时,不同直径的金刚石厚膜与抛光盘之间由于摩擦生热形成的温度场.结果表明:随着金刚石膜直径的增大,其内、外边缘温度差明显增大.只有当金刚石膜与抛光盘作同向相对运动时,金刚石膜的内、外边缘温度才趋于均匀.文中得出的结论可以为金刚石膜超高速抛光机的设计和实际操作提供可靠的理论依据.

中图分类号:

O786

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