单晶炉横向磁场的优化设计与实现

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (1): 259-264.

单晶炉横向磁场的优化设计与实现

安涛;高勇;刘飞航;顾林晴

西安理工大学,西安,710048

出版日期:2009-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
陕西省教育厅专项基金(08JK364)

Optimum Design and Realization of Transverse Magnetic Field in Single Crystal Furnace

AN Tao;GAO Yong;LIU Fei-hang;GU Lin-qing

Online:2009-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文利用有限元法对152.4 mm(6 inch)单晶炉355.6 mm(14 inch)坩埚横向磁场的磁场强度、磁场分布和均匀度,以及线圈匝数、铁芯半径、导线截面积、磁极宽度和高度等影响因素进行了模拟分析和优化.在此基础上得到了磁场的优化参数,并对优化设计参数进行了实验验证.结果表明:模拟方法合理,结果正确、符合实际,可运用于实际设计.为磁场设计提供了一种可靠的模拟新方法和经验数据.

中图分类号:

TP15

安涛;高勇;刘飞航;顾林晴. 单晶炉横向磁场的优化设计与实现[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(1): 259-264.

AN Tao;GAO Yong;LIU Fei-hang;GU Lin-qing. Optimum Design and Realization of Transverse Magnetic Field in Single Crystal Furnace[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2009, 38(1): 259-264.

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摘要

[1]	安涛;高勇;马剑平;李守智;李留臣. 单晶炉勾形磁场的优化设计与分析[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(2): 292-296.
[2]	蒲红斌;陈治明;李留臣;封先锋;张群社;沃立民;黄媛媛. 用热壁CVD法在SiC衬底上生长SiCGe合金的热场分析与设计[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(5): 712-716.