大面积球面金刚石膜的均匀沉积研究

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (1): 33-38.

大面积球面金刚石膜的均匀沉积研究

相炳坤;左敦稳;李多生;陆海泉;陈荣发

南京航空航天大学,江苏省精密与微细制造重点实验室,南京,210016;南京航空航天大学机电学院,南京,210016;南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2009-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50275076)

Study on Uniform Deposition of Spherical Diamond Film on a Large Area Substrate

XIANG Bing-kun;ZUO Dun-wen;LI Duo-sheng;LU Hai-quan;CHEN Rong-fa

Online:2009-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 利用直流电弧等离子体喷射法沉积装置在底径65 mm、高5 mm的Mo球面衬底上制备出厚度大于500 μm金刚石膜.用千分尺测量膜径向厚度以判断膜厚均匀性,用SEM观察膜的表面形貌,用拉曼谱仪测量膜的表面纯度,通过分析电镜形貌和拉曼谱峰的分布特点来判断金刚石膜的质量均匀性.结果表明,在优化工艺条件下,直流电弧等离子体喷射法设备可以在球面Mo衬底上生长出厚度和质量都比较均匀的半透光的自支撑球面金刚石厚膜.

中图分类号:

O484

相炳坤;左敦稳;李多生;陆海泉;陈荣发. 大面积球面金刚石膜的均匀沉积研究[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(1): 33-38.

XIANG Bing-kun;ZUO Dun-wen;LI Duo-sheng;LU Hai-quan;CHEN Rong-fa. Study on Uniform Deposition of Spherical Diamond Film on a Large Area Substrate[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2009, 38(1): 33-38.

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