6H-SiC成核表面形貌与缺陷产生的研究

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (1): 7-10.

6H-SiC成核表面形貌与缺陷产生的研究

王英民;宁丽娜;彭燕;徐化勇;胡小波;徐现刚

山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

出版日期:2009-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA03Z405);山东省自然科学基金(Y2006F15);国家自然科学基金(50721002)

Analysis on Surface Morphology and Defect Generation at the Initial Stages of 6H-SiC Sublimation Growth

WANG Ying-min;NING Li-na;PENG Yan;XU Hua-yong;HU Xiao-bo;XU Xian-gang

Online:2009-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 利用光学显微镜观察了6H-SiC晶体成核表面形貌,并使用高分辨X射线衍射法检测了不同区域的结晶质量.根据表面形貌的不同将成核表面分为三个区域:平台区、斜坡区、凹坑区.平台区的结晶质量最好,斜坡区和凹坑区由于缺陷(例如微管、小角晶界和多型夹杂等)的存在导致结晶质量变差.依据温场分布以及籽晶的固定分析了凹坑产生的可能原因.根据观察纵切片发现源于斜坡区以及凹坑区的缺陷随着晶体的生长继承到晶体内部导致后期生长的晶体质量变差.最后我们提出了通过优化成核温场分布以及改善籽晶固定方法来提高晶体成核质量的思路.

中图分类号:

O771
O782

王英民;宁丽娜;彭燕;徐化勇;胡小波;徐现刚. 6H-SiC成核表面形貌与缺陷产生的研究[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(1): 7-10.

WANG Ying-min;NING Li-na;PENG Yan;XU Hua-yong;HU Xiao-bo;XU Xian-gang. Analysis on Surface Morphology and Defect Generation at the Initial Stages of 6H-SiC Sublimation Growth[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2009, 38(1): 7-10.

HTML			PDF

最新录用	在线预览	正式出版	最新录用	在线预览	正式出版
0	0	0	0	0	47

来源	本网站	其他网站

次数	41	6
比例	87%	13%

摘要

最新录用	在线预览	正式出版

0	0	27

[1]	柯瑞;张宇民;陈子羿;周玉锋;宋志成. 蓝宝石单晶纳米压痕蠕变性能研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(3): 487-491.
[2]	宋生;崔潆心;杨昆;徐现刚;胡小波;黄万霞;袁清习. 同步辐射白光形貌术定量计算晶体的残余应力[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(12): 2515-2519.
[3]	胡克艳;唐慧丽;王静雅;钱小波;徐军;杨秋红. 导模法蓝宝石单晶的位错缺陷及其力学性能的研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(7): 1252-1256.
[4]	杨华军;张庆礼;彭方;王小飞;高进云;罗建乔;孙敦陆;王迪;刘文鹏. 提拉法生长的5at; Yb∶GdTaO4晶体的结构和光谱性能分析[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(5): 788-793.
[5]	姜涛;严成锋;陈建军;刘熙;杨建华;施尔畏. Ar气氛下退火处理对6H-SiC晶片表面结构的影响[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(5): 865-868.
[6]	蒋建军;代立东;李和平;胡海英;惠科石;单双明. 高温高压下天然峨眉山玄武岩的阻抗谱实验研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(5): 968-975.
[7]	彭燕;宁丽娜;高玉强;徐化勇;宋生;蒋锴;胡小波;徐现刚. 4H-SiC晶体表面形貌和多型结构变化研究[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(3): 559-563.
[8]	高玉强;彭燕;李娟;陈秀芳;胡小波;徐现刚;蒋民华. 以(10(1)5)面为籽晶的6H-SiC单晶生长与缺陷研究[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(2): 287-290.
[9]	姜守振;李娟;陈秀芳;王英民;宁丽娜;胡小波;徐现刚;王继杨;蒋民华. 沿[1-100]方向升华法生长6H-SiC单晶[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(1): 14-17.
[10]	彭观良;李抒智;庄漪;邹军;王银珍;刘世良;周国清;周圣明;徐军;干福熹. c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO2层质量的影响[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(5): 833-837.
[11]	彭观良;周国清;庄漪;邹军;王银珍;李抒智;杨卫桥;周圣明;徐军. r面白宝石单晶的温梯法生长及缺陷研究[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(4): 653-656.
[12]	彭观??庄漪;邹军;王银珍;刘世良;周国清;周圣明;徐军;干福熹. γ-LiAlO2晶体的生长及掺镓研究[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(3): 399-402.
[13]	彭观良;周圣明;周国清;李抒智;王银珍;邹军;苏凤莲;刘世良;徐军. 温梯法白宝石晶体的表面形貌研究[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(6): 882-886.
[14]	姚冬敏;齐雪君;宋桂兰;袁兰英;仲维卓. BGO晶体的缺陷与性能-(1)缺陷及其形成[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(6): 940-944.
[15]	胡小波;徐现刚;李现祥;董捷;韩荣江;王丽;李娟;王继扬;田玉莲;黄万霞;朱佩平. 同步辐射单色光形貌术观察6H-SiC单晶中的微管缺陷[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(3): 332-334.