蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (1): 74-78.

蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜

周阳;仇满德;付跃举;邢金柱;霍骥川;彭英才;刘保亭

河北大学物理科学与技术学院,保定,071002;河北大学化学与环境科学学院,保定,071002;河北大学电子信息工程学院,保定,071002

出版日期:2009-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家重点基础研究发展规划(973计划)(2007CB616910);国家自然科学基金(50572021);河北省自然科学基金(E2008000620;A2005000090);教育部资助项目(2005-546;207013);河北大学青年基金(2005Q08)

Room Temperature Epitaxial Growth of ZnO Thin Film on Sapphire Substrates by RF Magnetron Sputtering

ZHOU Yang;QIU Man-de;FU Yue-ju;XING Jin-zhu;HUO Ji-chuan;PENG Ying-cai;LIU Bao-ting

Online:2009-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 在室温条件下,采用磁控溅射方法在蓝宝石(0001)衬底上制备了外延的ZnO薄膜.采用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、可见-紫外分光光度计系统研究了ZnO薄膜微观结构和光学特性.AFM测量结果表明ZnO薄膜具有较为均匀的ZnO晶粒,表面平整,具有较小的均方根粗糙度(0.9 nm);X射线衍射结果表明制备的ZnO薄膜为具有六角纤锌矿结构的外延薄膜;光学透射谱显示样品在可见光范围内具有较高的透过性,并在370 nm附近出现一个较陡的吸收边,表明在室温下制备出了具有较高质量的ZnO薄膜.

中图分类号:

O484

周阳;仇满德;付跃举;邢金柱;霍骥川;彭英才;刘保亭. 蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(1): 74-78.

ZHOU Yang;QIU Man-de;FU Yue-ju;XING Jin-zhu;HUO Ji-chuan;PENG Ying-cai;LIU Bao-ting. Room Temperature Epitaxial Growth of ZnO Thin Film on Sapphire Substrates by RF Magnetron Sputtering[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2009, 38(1): 74-78.

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