清洗方法对KDP晶体抛光表面质量的影响

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (2): 525-528.

清洗方法对KDP晶体抛光表面质量的影响

王奔;吴东江;高航;康仁科

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024

出版日期:2009-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金重点项目(50535020)

Influence of Cleaning Method on Quality of KDP Crystal Polished Surface

WANG Ben;WU Dong-jiang;GAO Hang;KANG Ren-ke

Online:2009-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 为了提高KDP晶体的表面质量,减少清洗时新损伤的引入,降低清洗过程对抛光后晶体表面质量的影响,本文采用超声波、酒精棉、擦镜纸以及酒精棉与擦镜纸相结合的方法,对抛光后的KDP晶体表面进行了清洗.利用光学显微镜对不同清洗方法得到的表面质量进行检测对比.结果表明,酒精棉与擦镜纸相结合进行清洗为较理想的清洗方法,可以有效防止清洗中存在的表面潮解及新划痕的引入,清洗后的抛光表面粗糙度Ra为2.152 nm.

中图分类号:

TH161

王奔;吴东江;高航;康仁科. 清洗方法对KDP晶体抛光表面质量的影响[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(2): 525-528.

WANG Ben;WU Dong-jiang;GAO Hang;KANG Ren-ke. Influence of Cleaning Method on Quality of KDP Crystal Polished Surface[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2009, 38(2): 525-528.

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