摘要: 采用籽晶辅助化学水浴沉积法,即先用磁控溅射法在硅片上制备c轴取向的ZnO薄膜,以此作为籽晶层,利用化学水浴沉积法制备ZnO纳米棒阵列.利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD),研究了ZnO薄膜籽晶层的沉积温度、水浴温度和前驱体溶液中Zn源的初始浓度等对ZnO纳米棒阵列生长的影响,由此得到了结晶性好且几乎垂直于衬底方向的ZnO纳米棒阵列的生长条件,为制备基于ZnO纳米棒阵列的器件提供了条件.
中图分类号:
潘景伟;马向阳;张辉;杨德仁. 籽晶辅助化学水浴沉积法制备ZnO纳米棒阵列[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(6): 1304-1308.
PAN Jing-wei;MA Xiang-yang;ZHANG Hui;YANG De-ren. Preparation of ZnO Nanorod Arrays by Seed-assisted Chemical Bath Deposition Method[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2009, 38(6): 1304-1308.