磁控溅射Cd1-xZnxTe多晶薄膜组分的可控生长

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (2): 341-344.

磁控溅射Cd1-xZnxTe多晶薄膜组分的可控生长

葛玉建;江锦春;邬云骅;潘健亮;王善力;褚君浩

上海太阳能电池研究与发展中心,上海,201201;上海太阳能电池研究与发展中心,上海,201201;中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

出版日期:2010-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
中国科学院太阳能行动计划项目(1731011240;08w1472w01);上海浦东科委种子基金(PKZ2008-05)

Composition Controllable Growth of PolycrystalCd1-xZnxTe Films by Magnetron Sputtering

GE Yu-jian;JIANG Jin-chun;WU Yun-hua;PAN Jian-liang;WANG Shan-li;CHU Jun-hao

Online:2010-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用双靶位共溅射方法制备出组分可控的Cd1-xZnxTe薄膜样品,组分偏离小于0.13.采用XRD对不同生长温度制备的样品进行了结晶性分析,研究了薄膜结晶与生长温度的关系.采用AFM、SEM对样品进行了表面和界面分析,表明薄膜表面平整,界面清晰.对不同组分的Cd1-xZnxTe样品进行了透射光谱测量,得到了光学性质随组分的变化规律,并拟合得出了这些样品的带隙和组分.

中图分类号:

O484.1

葛玉建;江锦春;邬云骅;潘健亮;王善力;褚君浩. 磁控溅射Cd1-xZnxTe多晶薄膜组分的可控生长[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(2): 341-344.

GE Yu-jian;JIANG Jin-chun;WU Yun-hua;PAN Jian-liang;WANG Shan-li;CHU Jun-hao. Composition Controllable Growth of PolycrystalCd1-xZnxTe Films by Magnetron Sputtering[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2010, 39(2): 341-344.

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