整体硬质合金铣刀上制备CVD金刚石涂层的系统三维流场研究

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (2): 345-349.

整体硬质合金铣刀上制备CVD金刚石涂层的系统三维流场研究

林欢庆;卢文壮;左敦稳;徐锋;袁佳晶;马乐娟

南京航空航天大学机电学院,南京,210016;中国航天科工集团公司南京八五一一研究所,南京,210016

出版日期:2010-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50605032);江苏省自然科学基金(BK2007193)

Study on Three-dimensional Flow Field of CVD Diamond Coating Cemented Carbide Milling Cutter Preparation System

LIN Huan-qing;LU Wen-zhuang;ZUO Dun-wen;XU Feng;YUAN Jia-jing;MA Le-juan

Online:2010-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文通过建立整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层时CVD沉积系统流场的三维模型,研究了进气口分布对该系统流场均匀性的影响,优化了进气口的分布;在仿真的基础上开展了整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层的验证实验,采用SEM和Raman对制备的CVD金刚石涂层进行了分析测试.结果表明:优化后的流场可以用于制备高质量的CVD金刚石涂层,且批量制备出的在衬底不同位置上的铣刀表面CVD金刚石涂层的质量均匀一致.

中图分类号:

O411

林欢庆;卢文壮;左敦稳;徐锋;袁佳晶;马乐娟. 整体硬质合金铣刀上制备CVD金刚石涂层的系统三维流场研究[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(2): 345-349.

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