热处理对电沉积制备ZnS薄膜物相组成及光学性能的影响

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (2): 392-395.

热处理对电沉积制备ZnS薄膜物相组成及光学性能的影响

夏冬林;石正忠;张兴良;王慧芳;刘俊

武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,武汉,430070

出版日期:2010-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
武汉市科技攻关项目(20061002037)

Influence of Annealing on the Composition and Optical Properties of ZnS Thin Films Fabricated by Electrodeposition

XIA Dong-lin;SHI Zheng-zhong;ZHANG Xing-liang;WANG Hui-fang;LIU Jun

Online:2010-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用电沉积方法在氧化铟锡(ITO)导电玻璃上沉积了ZnS薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见光(UV-VIS)分光光度计对薄膜的微结构和光学性能进行了表征,研究了热处理条件对薄膜的相组成和光学性能的影响.结果表明:电沉积制备的ZnS薄膜呈非晶态,并且含有单质Zn.硫化热处理可以改善薄膜的结晶状况,减少杂质Zn的含量.硫气氛中450 ℃热处理4 h之后,薄膜中单质Zn全部反应生产ZnS,得到了纯的ZnS薄膜.没有经过热处理的薄膜,其可见光透射率在70;左右,热处理后薄膜样品的透射率降低,在硫气氛中热处理4 h的样品,其可见光透射率最低,为50;左右,热处理条件对薄膜样品的禁带宽度值基本没有影响.

中图分类号:

O484

夏冬林;石正忠;张兴良;王慧芳;刘俊. 热处理对电沉积制备ZnS薄膜物相组成及光学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(2): 392-395.

XIA Dong-lin;SHI Zheng-zhong;ZHANG Xing-liang;WANG Hui-fang;LIU Jun. Influence of Annealing on the Composition and Optical Properties of ZnS Thin Films Fabricated by Electrodeposition[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2010, 39(2): 392-395.

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