人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (2): 396-400.
王榕;索红莉;程艳玲;刘敏;赵跃;叶帅;高忙忙;周美玲
WANG Rong;SUO Hong-li;CHENG Yan-ling;LIU Min;ZHAO Yue;YE Shuai;GAO Mang-mang;ZHOU Mei-ling
摘要: 为制备高质量的双轴织构La2Zr2O7(LZO)涂层导体过渡层,本文采用化学溶液法(Chemical solution deposition,简称CSD法),以乙酰丙酮镧和乙酰丙酮锆为溶质,丙酸为溶剂配制成前驱盐溶液,在立方织构的Ni-5 at;W基底上用快速一步法退火工艺制备了LZO种子层及双层LZO厚膜.SEM观察种子层呈岛状均匀排列,符合种子层形貌特点.XRD结果显示0.06 mol/L浓度种子层上制备的LZO厚膜具有很强的双轴立方织构,其中(222)面Phi扫描和(400)面摇摆曲线半高宽值分别为6.37°和5.82°.SEM观察发现120 nm厚的LZO薄膜表面平整,无裂纹,为后续沉积YBCO提供了很好的模板.
中图分类号: