In掺杂量对ZnO薄膜微结构和光学性质的影响

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (2): 486-489.

In掺杂量对ZnO薄膜微结构和光学性质的影响

戴结林

合肥师范学院物理与电子工程系,合肥,230061

出版日期:2010-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
安徽省科技厅重点项目(07020203009);安徽省高等学校省级自然科学研究项目(KJ2007B135)

Influence of In Doping Content on Microstructure and Optical Properties of ZnO Thin Films

DAI Jie-lin

Online:2010-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶法分别制备未掺杂和In掺杂ZnO薄膜,用X射线衍射仪、扫描电镜和紫外可见分光光度计测试分析薄膜的微结构、表面形貌和光学性质.结果表明:In掺杂ZnO薄膜仍为六角纤锌矿结构,但In的掺入抑制ZnO薄膜的结晶,使得薄膜的结晶度降低.In掺杂ZnO薄膜表面呈网络状结构,随着In掺杂量的增加,表面起伏程度减小,空隙减少,表面平整,致密度提高.In掺杂ZnO薄膜的光学带宽Eg值均小于未掺杂ZnO薄膜,且随In掺杂量的增加先增大后减小,并用Burstein-Moss效应和缺陷浓度变化对光学带宽变化进行了解释.

中图分类号:

O484

戴结林. In掺杂量对ZnO薄膜微结构和光学性质的影响[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(2): 486-489.

DAI Jie-lin. Influence of In Doping Content on Microstructure and Optical Properties of ZnO Thin Films[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2010, 39(2): 486-489.

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