SiC单晶片ELID超精密磨削氧化膜特性研究

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (4): 1055-1059.

SiC单晶片ELID超精密磨削氧化膜特性研究

肖强;李言;朱育权

西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,710048;西安工业大学机电工程学院,西安,710032;西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,710048;西安工业大学机电工程学院,西安,710032

出版日期:2010-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
陕西省重点实验室建设基金项目资助(09JS099)

Research on Oxide Layer Characteristics in ELID Pre-dressing Process of SiC Single Crystal Slice

XIAO Qiang;LI Yan;ZHU Yu-quan

Online:2010-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： SiC单晶片的材质既硬且脆,加工难度很大,通过ELID磨削技术超精密加工SiC单晶片是一种高效的加工方法,而氧化膜的特性是ELID磨削技术的关键.本文研究了ELID磨削中氧化膜的形成规律,基于电化学基本原理,建立了砂轮表面氧化膜形成过程的一般模型,并对电压、占空比等工艺参数对金属结合剂砂轮表面氧化膜形成特性的影响进行了研究.结果表明:氧化膜厚度和生长率随着电压和占空比的增加而增加,随后逐渐降低并趋于稳定.根据SiC单晶片硬脆性质,在超精密加工SiC单晶片时,开始阶段采用较高电压(120 V)和较高占空比(2/3),在稳定阶段采用较低电压(90 V)和较低占空比(1/4).

中图分类号:

O649

肖强;李言;朱育权. SiC单晶片ELID超精密磨削氧化膜特性研究[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(4): 1055-1059.

XIAO Qiang;LI Yan;ZHU Yu-quan. Research on Oxide Layer Characteristics in ELID Pre-dressing Process of SiC Single Crystal Slice[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2010, 39(4): 1055-1059.

HTML			PDF

最新录用	在线预览	正式出版	最新录用	在线预览	正式出版
0	0	0	0	0	22

	来源	本网站

	次数	22
	比例	100%

摘要

最新录用	在线预览	正式出版

0	0	9

	来源	本网站

	次数	9
	比例	100%

[1]	康杰, 丁紫阳, 王晓燕, 李连荣, 孙为云, 焦璨, 宋月鹏. 腐蚀法制备SiC量子点粒径调控及尺寸对其光学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(4): 684-691.
[2]	张海峰, 王彬, 程彩萍, 伊思静. 第一性原理研究Ag掺杂及缺陷共存对ZnO光催化性质的影响[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(11): 2027-2035.
[3]	张惠惠, 寇慧芝, 汪海波. 非水溶剂中纳米结构SrTiO₃薄膜电极平带电位研究[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(6): 1070-1075.
[4]	庄文昌, 张洁, 李钦堂, 朱文友, 贾志泰. 氧化镓纳米材料的制备及其在光电探测方面的应用研究进展[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(12): 2376-2382.
[5]	张海峰;李鹏;卢士香;徐文国. Cu/Ag单掺及Cu-Ag共掺对ZnO光催化性能影响的第一性原理研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(6): 1112-1120.
[6]	陈子玉;刘琳;李翰林;潘勤鹤;杨玮婷;任国建;韩秀萍;牛成. 纳米介孔ZnO@SiO2核壳结构催化剂的制备及其耐酸性能[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(7): 1377-1381.
[7]	任千尚;唐瑾晖;黄伟;任慧志;魏长春;王广才;许盛之;赵颖;张晓丹. 平面硅异质结太阳电池的光吸收增强的研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(6): 1089-1095.
[8]	孙武;汤政涛;于少明. 氨配合法控制合成片状纳米氧化锌[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(6): 1171-1176.
[9]	刘新芳;朱聪旭;李济垚;冯铭华;法文君;郑直. 高温变色粉末的制备及其在钧瓷釉料中的应用[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(6): 1261-1265.
[10]	弓中强;崔彩娥;黄平;王磊;田跃;时秋峰. 单一基质Na2Ca3Si2O8∶Tb3+,Eu3+荧光粉发光性质和能量传递的研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(5): 917-923.
[11]	朱玉婷;赵晓琳;解玲丽;梁伟;康利涛. 腐植酸钾一步炭化活化制备孔径可调的活性炭材料及其电化学性能[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(5): 934-941.
[12]	王玉玲;吴振雷;曹丰慧;何巍巍;徐权;张锐. PT含量对压电单晶声子晶体SH波传输特性的影响[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(5): 978-982.
[13]	卢江芮;李坦;刘建新;樊彩梅;李双志. 晶面可控氯氧铋的制备及光催化性能研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(5): 990-995.
[14]	李玥;孟静静;邵浦华;杨智雄;高风仙. 三维In2S3/Ag/TiO2纳米网对9-蒽羧酸的光催化性能研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(5): 1043-1048.
[15]	韩飞;李尚升;朱丽飞;聂媛;于昆鹏;王健康;宿太超;胡美华;肖宏宇. 激光拉曼光谱法在金刚石研究中的应用[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(5): 1060-1065.