Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi2薄膜结构和表面形貌的影响

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (4): 883-887.

Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi2薄膜结构和表面形貌的影响

鲁林峰;沈鸿烈;张娟;江丰;李斌斌;沈洲;刘恋慈

南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京,211106

出版日期:2010-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA03Z219)

Influence of Sublayer Thickness Ratio of the Fe/Si Multilayer Films on the Structure and Surface Morphology of β-FeSi2 Thin Film

LU Lin-feng;SHEN Hong-lie;ZHANG Juan;JIANG Feng;LI Bin-bin;SHEN Zhou;LIU Lian-ci

Online:2010-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用射频磁控溅射方法,在Si(111)和石英衬底上制备了Fe/Si亚层厚度比不同的多层膜.多层膜的总厚度为252 nm,Fe/Si亚层厚度比分别为1 nm/3.2 nm、2 nm/6.4 nm和20 nm/64 nm.在850 ℃, Ar气气氛中退火2 h后,Si衬底上的多层膜完全生成了β-FeSi2相.但石英衬底上同样Fe/Si亚层厚度比的多层膜除了生成β-FeSi2相,还生成了少量的ε-FeSi相.通过增加Si亚层的厚度至Fe/Si亚层厚度比为2 nm/7.0 nm,在石英衬底上也获得了单相的β-FeSi2薄膜, 其光学带隙为0.87 eV,表面均方根粗糙度为2.34 nm.

中图分类号:

TB303
TB34

鲁林峰;沈鸿烈;张娟;江丰;李斌斌;沈洲;刘恋慈. Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi2薄膜结构和表面形貌的影响[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(4): 883-887.

LU Lin-feng;SHEN Hong-lie;ZHANG Juan;JIANG Feng;LI Bin-bin;SHEN Zhou;LIU Lian-ci. Influence of Sublayer Thickness Ratio of the Fe/Si Multilayer Films on the Structure and Surface Morphology of β-FeSi2 Thin Film[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2010, 39(4): 883-887.

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