Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi2薄膜结构和表面形貌的影响

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (4): 883-887.

Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi2薄膜结构和表面形貌的影响

鲁林峰;沈鸿烈;张娟;江丰;李斌斌;沈洲;刘恋慈

南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京,211106

出版日期:2010-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA03Z219)

Influence of Sublayer Thickness Ratio of the Fe/Si Multilayer Films on the Structure and Surface Morphology of β-FeSi2 Thin Film

LU Lin-feng;SHEN Hong-lie;ZHANG Juan;JIANG Feng;LI Bin-bin;SHEN Zhou;LIU Lian-ci

Online:2010-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用射频磁控溅射方法,在Si(111)和石英衬底上制备了Fe/Si亚层厚度比不同的多层膜.多层膜的总厚度为252 nm,Fe/Si亚层厚度比分别为1 nm/3.2 nm、2 nm/6.4 nm和20 nm/64 nm.在850 ℃, Ar气气氛中退火2 h后,Si衬底上的多层膜完全生成了β-FeSi2相.但石英衬底上同样Fe/Si亚层厚度比的多层膜除了生成β-FeSi2相,还生成了少量的ε-FeSi相.通过增加Si亚层的厚度至Fe/Si亚层厚度比为2 nm/7.0 nm,在石英衬底上也获得了单相的β-FeSi2薄膜, 其光学带隙为0.87 eV,表面均方根粗糙度为2.34 nm.

中图分类号:

TB303
TB34

鲁林峰;沈鸿烈;张娟;江丰;李斌斌;沈洲;刘恋慈. Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi2薄膜结构和表面形貌的影响[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(4): 883-887.

LU Lin-feng;SHEN Hong-lie;ZHANG Juan;JIANG Feng;LI Bin-bin;SHEN Zhou;LIU Lian-ci. Influence of Sublayer Thickness Ratio of the Fe/Si Multilayer Films on the Structure and Surface Morphology of β-FeSi2 Thin Film[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2010, 39(4): 883-887.

HTML			PDF

最新录用	在线预览	正式出版	最新录用	在线预览	正式出版
0	0	0	0	0	38

来源	本网站	其他网站

次数	27	11
比例	71%	29%

摘要

最新录用	在线预览	正式出版

0	0	9

	来源	本网站

	次数	9
	比例	100%

[1]	周江聪;欧阳清海;黄烽. SiO2复合CsPbI3量子点提高其相稳定性和抗湿性[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(10): 2190-2195.
[2]	郝艳艳;张影;赵琳;阎松. ZnWO4-ZnO复合光催化剂的制备及光催化性能[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(3): 457-462.
[3]	娄建忠;李振娜;方晓燕;代秀红;宋安英;宋建民;刘保亭. 衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(4): 951-955.
[4]	张俊芝;代福;范东华;郑春来. 预制层衬底加热对Cu2ZnSnS4薄膜性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(4): 1017-1023.
[5]	刘振英;汤根;陈梦竹;李洁;叶建军. pH值和烧结温度对溶胶-凝胶方法制备堇青石粉体性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(4): 1055-1058.
[6]	毛永强;王继仁;张浩;毛晶;李娜. 气相阳离子交换法制备CoO纳米棒及其光学性能[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(8): 2255-2259.
[7]	门向东;陶凤和;甘霖;赵金辉. 超音速火焰喷涂Cr3C2-NiCr与WC-Co涂层高温结合性能研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(7): 2005-2010.
[8]	孙丹丹;胡前库;李正阳;王李波;周爱国;吴庆华. 新型二维晶体MXene的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(11): 2950-2956.
[9]	马贺;陈立佳;郭连权;冷利;林琳. Al-Y合金中金属间化合物力热性能的第一性原理计算[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(11): 3022-3026.
[10]	赵岑;杜慧玲;史翔;王瑾;杜娴. Mg离子掺杂对含锆铋基焦绿石材料介电弛豫性能影响[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(6): 1120-1125.
[11]	孙保民;袁媛;郭永红;贾斌;王阳. 催化剂焙烧温度对热解火焰法合成碳纳米管的影响[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(4): 900-904.
[12]	张效华;辛凤;胡跃辉;杨丰;陈义川. Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225陶瓷和薄膜的结构和介电性能对比[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(4): 1006-1010.
[13]	张效华;辛凤;胡跃辉;杨丰;陈义川. 沉积氧压对Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜的结构和介电特性的影响[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(2): 448-451.
[14]	李坤淑;贾友军;李国平;韩照波. 溶液对流与温度起伏之间关系的理论模型和实验验证[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(5): 1332-1335.
[15]	姜雷;刘丁;赵跃;刘志尚. 多对流耦合环境下Cz-Si固液界面形态的仿真方法及控制参数研究[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(6): 1762-1767.