溶胶-凝胶法制备Mg掺杂ZnO薄膜的微结构与光学性质

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (5): 1171-1175.

溶胶-凝胶法制备Mg掺杂ZnO薄膜的微结构与光学性质

黄凯;吕建国;刘先松;唐震

安徽建筑工业学院数理系,合肥,230601;合肥师范学院物理与电子工程系,合肥,230601;安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039

出版日期:2010-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50672001);安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目(KJ2010A284)

Microstructue and Optical Properties of Mg-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-gel Method

HUANG Kai;LV Jian-guo;LIU Xian-song;TANG Zhen

Online:2010-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶技术在Si(111)和石英玻璃衬底上制备了Mg掺杂ZnO薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见(UV-Vis)分光光度计测试薄膜的微结构、表面形貌和光学性质.结果表明:所得Mg掺杂ZnO薄膜仍为六角纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长,随着退火温度升高,薄膜的晶格常数c由0.5288 nm减小到0.5278 nm,粗糙度从3.8 nm增大到6.5 nm,光学带隙由3.26 eV增大到3.31 eV.

中图分类号:

O484

黄凯;吕建国;刘先松;唐震. 溶胶-凝胶法制备Mg掺杂ZnO薄膜的微结构与光学性质[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(5): 1171-1175.

HUANG Kai;LV Jian-guo;LIU Xian-song;TANG Zhen. Microstructue and Optical Properties of Mg-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-gel Method[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2010, 39(5): 1171-1175.

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