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人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (6): 1494-1498.

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Na掺杂ZnO薄膜的表面形貌及其光学性质

吕建国;陈学梅;朱剑博;黄凯;宋学萍;孙兆奇   

  1. 合肥师范学院物理与电子工程系,合肥,230061;安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039;合肥师范学院物理与电子工程系,合肥,230061;安徽建筑工业学院数理系,合肥,230601;安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039
  • 出版日期:2010-12-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(50872001);教育部博士点专项基金(20060357003);安徽省人才基金(2004Z029);安徽高校省级自然科学研究重点项目(KJ2010A284)

Surface Morphology and Optical Properties of Na-doped ZnO Thin Films

LV Jian-guo;CHEN Xue-mei;ZHU Jian-bo;HUANG Kai;SONG Xue-ping;SUN Zhao-qi   

  • Online:2010-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用溶胶-凝胶技术制备不同Na掺杂ZnO薄膜,用XRD、拉曼光谱仪、AFM、SEM和紫外可见分光光度计等表征方法研究了Na掺杂量对ZnO薄膜的表面形貌和光学性质的影响.XRD和Raman光谱分析表明:8.0 at;Na掺杂ZnO薄膜具有最佳c轴择优取向,内部残余张应力最大;表面形貌研究结果显示:薄膜的平均粒径和粗糙度均随Na含量的增加而增大.薄膜在可见光范围内的平均透射率大于80;,随着Na含量从0增加到10at;,薄膜的光学带宽由3.283 eV增大到 3.305 eV.

关键词: Na掺杂;拉曼光谱;表面形貌;透射谱

中图分类号: