硅基铝掺杂氧化锌异质结太阳能电池的制备与性能研究

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (6): 1499-1503.

硅基铝掺杂氧化锌异质结太阳能电池的制备与性能研究

商世广;赵玲;贺永宁;杜慧敏;赵萍

西安邮电学院电子工程学院,西安,710121;西安交通大学电子与信息工程学院,西安,710049

出版日期:2010-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
西安应用材料创新基金(XA-AM-201004);陕西省教育厅项目(2008JK822)

Research on Fabrication and Properties of Al-doped Zinc Oxide Based on Silicon Heterojunction Solar Cells

SHANG Shi-guang;ZHAO Ling;HE Yong-ning;DU Hui-min;ZHAO Ping

Online:2010-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文以绒面处理的P型硅(111)为衬底,利用磁控溅射、蒸发镀膜和热氧化等技术制备Al/P(cryst-Si: H)/N(Al-Doped ZnO)/ITO结构的异质结太阳能电池,探讨ZnO薄膜的表面形貌、晶体结构以及衬底的可见光反射率等因素对其光电转化性能的影响.扫描电子显微镜分析显示,氧化锌薄膜是具有大量晶界的多孔隙结构.X 射线衍射测试表明,氧化锌薄膜为六方纤锌矿晶体结构.太阳能电池的I-V特性测试显示,在绒面处理的硅基上制备的ZnO异质结太阳能电池具有较好的光伏特性,开路电压VOC为328 mV,短路电流密度JSC 为5.83 mA/cm2,填充因子FF为0.602.

中图分类号:

TM914.4

商世广;赵玲;贺永宁;杜慧敏;赵萍. 硅基铝掺杂氧化锌异质结太阳能电池的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(6): 1499-1503.

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