衬底温度对In2S3薄膜结构及其性能的影响

人工晶体学报 ›› 2011, Vol. 40 ›› Issue (2): 415-418.

衬底温度对In2S3薄膜结构及其性能的影响

张啸;王华;许积文;杨玲;任明放

桂林电子科技大学材料科学与工程学院,桂林,541004

出版日期:2011-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
广西研究生教育创新计划(2010105950809M37)

Effect of Substrate Temperature on Structure and Properties of In2S3 Films

ZHANG Xiao;WANG Hua;XU Ji-wen;YANG Ling;REN Ming-fang

Online:2011-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用超声喷雾热解法,在玻璃基底上一步合成了In2S3薄膜.研究了衬底温度对In2S3薄膜的结构、表面形貌、电学和光学性能影响.结果表明:所制备的In2S3薄膜均具有沿(220)面择优取向生长特性且无其他杂相,衬底温度对薄膜的均匀性、致密度、结晶程度均有明显影响,并因此影响薄膜的光电性能.薄膜的导电件随着衬底温度的升高迅速增强,但足在衬底温度为350℃时有所降低.衬底温度为300℃所制备的薄膜在可见光区透光率最高达到90;以上,禁带宽度达到2.43 eV.

中图分类号:

O484

张啸;王华;许积文;杨玲;任明放. 衬底温度对In2S3薄膜结构及其性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(2): 415-418.

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