HVPE生长室气流分布模拟及GaCl载气流量对GaN单晶生长的影响

人工晶体学报 ›› 2011, Vol. 40 ›› Issue (4): 853-857.

HVPE生长室气流分布模拟及GaCl载气流量对GaN单晶生长的影响

张雷;邵永亮;吴拥中;张浩东;郝霄鹏;蒋民华

山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

出版日期:2011-08-15 发布日期:2021-01-20

Simulation of Gas Distribution in HVPE Reactor and Influence of GaCl Carrier Gas Flow Rate on the GaN Crystal Growth

ZHANG Lei;SHAO Yong-liang;WU Yong-zhong;ZHANG Hao-dong;HAO Xiao-peng;JIANG Min-hua

Online:2011-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用计算流体力学软件Fluent对HVPE反应室进行了数值模拟,研究了GaCl载气流量对HVPE反应室气流分布的影响,发现GaCl载气流量是影响GaCl和NH3在衬底上均匀分布的重要因素.采用HVPE方法在不同GaCl载气流量下生长GaN单晶,研究了GaCl载气流量对GaN单晶质量的影响,得到了与模拟一致的结果.

中图分类号:

O614

张雷;邵永亮;吴拥中;张浩东;郝霄鹏;蒋民华. HVPE生长室气流分布模拟及GaCl载气流量对GaN单晶生长的影响[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(4): 853-857.

ZHANG Lei;SHAO Yong-liang;WU Yong-zhong;ZHANG Hao-dong;HAO Xiao-peng;JIANG Min-hua. Simulation of Gas Distribution in HVPE Reactor and Influence of GaCl Carrier Gas Flow Rate on the GaN Crystal Growth[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2011, 40(4): 853-857.

[1]	罗鹏, 姜茜, 卢凤阳, 钟国清. 吡啶羧酸铜(Ⅱ)配合物的合成、表征及应用性能[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2160-2166.
[2]	徐智祥, 安志烜, 李玉瑶, 孙畅, 李晓慧. 双吡啶双酰胺配体构筑的钴配合物的合成、结构及光催化性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1791-1797.
[3]	史燚威, 杨瑞杰, 张迎春, 王鑫, 王敏, 宋志国. 4,4′-联吡啶桥联的钴配位聚合物的合成、表征及量子化学计算[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1583-1590.
[4]	程佳佳, 吴梦琪, 杨敏, 王丽梅, 魏荣敏. [Co^Ⅲ(DIEN)(N₃)₃]配合物的合成、晶体结构及量子化学研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1409-1415.
[5]	李波, 王霏宇, 沈红, 毛逢银, 李勇辉. 基于4-羟基间苯二甲酸和含氮杂环配体的Zn(II)配合物的合成、晶体结构与荧光性质研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(4): 692-700.
[6]	祁金阳, 王敏, 杨瑞杰, 张迎春, 宋志国. 一种新型苯磺酸-咪唑配合物的结构及催化性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(2): 300-306.
[7]	滕雨含, 王建通, 龚长帅, 王渤文, 薛绪岩, 王雪娇. 新型硅酸盐型荧光粉K₃(Y_0.88Yb_0.10Ho_0.02)Si₂O₇的上转换光致发光及光学测温性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(1): 115-122.
[8]	张艳平, 高鹏, 李建保, 王敏, 万伟敏, 陈拥军. Ru掺杂Ni₃N催化剂的电催化析氢反应[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(9): 1698-1706.
[9]	赵美丽, 孙涛峰, 桂强, 张春生, 王树印, 刘珊, 李新乔, 安正华, 杨生. 引力波伽马射线暴探测用大尺寸溴化镧晶体封装件的制备及性能研究[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(3): 414-420.
[10]	李波, 沈红, 王霏宇, 毛逢银, 李勇辉. 基于混合配体的镍(Ⅱ)配合物的晶体结构、荧光性质和磁性研究[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(11): 1952-1957.
[11]	张文谦, 孙威, 曹铎, 牛亚杰, 吴文荣, 王东飞. 一种钡金属有机框架材料的合成及其晶体结构和发光性能的研究[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(8): 1370-1377.
[12]	曾振芳, 袁芳, 黄秋萍, 庞华钰, 杨红兰, 黄秋婵. 对氯苯甲酸构筑的铜(Ⅱ)配合物的合成、HSA结合及细胞毒性[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(1): 126-131.
[13]	李慧玲, 杨敏, 孙金, 李荣春, 魏荣敏. 一例含阴离子水簇的钴配合物的合成、结构及理论研究[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(12): 2293-2299.
[14]	曾振芳, 蔡杰慧, 黄秋萍, 韦友欢, 陈丽苗, 黄秋婵. 铜(Ⅱ)配合物{[Cu(OMBA)₂]₂·(DMF)₂}的合成、CT-DNA结合及细胞毒性[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(12): 2300-2306.
[15]	张少伯, 杨秋红, 胡娟. ZrSiO₄∶Mn⁴⁺荧光粉的制备及光谱性能[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(8): 1438-1443.