模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场与流场研究

人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (4): 877-882.

模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场与流场研究

薛海鹏;卢文壮;沈飞荣;孙达飞;王浩;左敦稳

南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2012-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51075211);教育部博士点基金项目(20113218110018);南京航空航天大学研究生创新基金资助(kfjj20110226)

Temperature and Flow Field in the CVD System for Diamond Heat Sink Deposition Using Mould Method

XUE Hai-peng;LU Wen-zhuang;SHEN Fei-rong;SUN Da-fei;WANG hao;ZUO Dun-wen

Online:2012-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文通过有限元仿真研究了模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场和流场,并对制备参数进行了优化.实验与仿真的结果均表明,进气量的大小对衬底附近流场的均匀性影响显著,热丝温度、热丝间距以及热丝到衬底的距离对衬底的平均温度影响显著,热丝间距和热丝温度对衬底温度的均匀性影响显著；模具法制备的CVD金刚石复制了模具型腔,保证了热沉片的结构完整性和尺寸精度,最终制备了精度较高的小型CVD金刚石热沉片.

中图分类号:

TQ174

薛海鹏;卢文壮;沈飞荣;孙达飞;王浩;左敦稳. 模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场与流场研究[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(4): 877-882.

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