氮流量对ZnO∶N薄膜微结构及光学性能影响

人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (5): 1280-1285.

氮流量对ZnO∶N薄膜微结构及光学性能影响

朱华;况慧芸;冯晓炜;万文琼

景德镇陶瓷学院机电学院,景德镇333001;景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系,景德镇333001;景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系,景德镇,333001

出版日期:2012-10-15 发布日期:2021-01-20

Effects of Nitrogen Flow on the Micro-Structure and Optical Properties of ZnO∶ N Films

ZHU Hua;KUANG Hui-yun;FENG Xiao-wei;WAN Wen-qiong

Online:2012-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 运用射频磁控溅射技术,改变氩、氮流量比(9/1 ～ 9/4)在玻璃衬底上获得ZnO∶N样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪及SEM对薄膜微结构和光学性能表征.结果发现∶N流量小,样品XRD峰强小,峰位不明显,紫外可见光光谱在320 ～780 nm波长区间透射率变化小；随着N流量的增加,样品XRD有(002)强单峰出现,在400 nm波长以下透射率急剧下降；当氩氮流量达到9/4,样品XRD出现双峰,紫外光透射率无明显变化.

中图分类号:

O484

朱华;况慧芸;冯晓炜;万文琼. 氮流量对ZnO∶N薄膜微结构及光学性能影响[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(5): 1280-1285.

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