用于HIT太阳能电池的非晶硅薄膜制备与性能研究

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (11): 2230-2234.

用于HIT太阳能电池的非晶硅薄膜制备与性能研究

齐晓光;雷青松;杨瑞霞;薛俊明;柳建平

河北工业大学信息工程学院,天津,300401;河北汉盛光电科技有限公司,衡水,053000

出版日期:2013-11-15 发布日期:2021-01-20

Study on Preparation and Properties of a-Si∶H Thin Films for HIT Solar Cells

QI Xiao-guang;LEI Qing-song;YANG Rui-xia;XUE Jun-ming;LIU Jian-ping

Online:2013-11-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用射频等离子体增强化学气相沉积技术(RF-PECVD),在不同硅烷浓度下制备本征非晶硅薄膜,研究薄膜材料的微结构和光电性能.研究表明,在硅烷浓度为5;时,制备的薄膜材料处于非晶/微晶相过渡区域,具有宽光学带隙、低吸收系数、较高电导率和较好的致密性.作为钝化层应用到HIT太阳电池中,具有良好的钝化效果,在n型单晶硅衬底上制备出了效率为13.92;的太阳电池.

中图分类号:

O484.4

齐晓光;雷青松;杨瑞霞;薛俊明;柳建平. 用于HIT太阳能电池的非晶硅薄膜制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(11): 2230-2234.

QI Xiao-guang;LEI Qing-song;YANG Rui-xia;XUE Jun-ming;LIU Jian-ping. Study on Preparation and Properties of a-Si∶H Thin Films for HIT Solar Cells[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(11): 2230-2234.

[1]	杨松, 何颖子, 王建卫, 张敏, 王旭. 锌掺杂对铁酸铋薄膜结构及多铁性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(4): 621-628.
[2]	赵鑫, 刘粉红, 张晓东, 刘昌龙. 射频磁控溅射氧气流量对制备的Ga₂O₃∶Cr薄膜光致发光性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(8): 1353-1360.
[3]	马海鑫, 丁广玉, 邢艳辉, 韩军, 张尧, 崔博垚, 林文魁, 尹浩田, 黄兴杰. 不同退火条件对PEALD制备的Ga₂O₃薄膜特性的影响[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(5): 838-844.
[4]	马国斌, 杨松, 徐蕾, 郭凯鑫, 王旭. Gd³⁺、Co³⁺共掺杂铁酸铋薄膜多铁性增强及带隙调谐[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(5): 851-857.
[5]	杨松;郭凯鑫;张敏;邓朝勇;王旭. La掺杂BiFeO3薄膜铁电及光学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1445-1450.
[6]	臧婷玉;吉帅;翟章印. 铝/铁掺杂的非晶碳/铝结构的电致电阻效应研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(8): 1711-1713.
[7]	阳生红;张曰理. 水热法制备Co掺杂CeO2纳米晶的微观形貌及磁学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(12): 2307-2312.
[8]	薛健璐;文峰. PEM控制合成碳掺杂钛氧薄膜的成分结构研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(8): 1521-1526.
[9]	袁烨;韩欢热;陈玉龙;钱欣. Ti-Cr-MCM-48分子筛的一步法制备及其吸附光催化性能研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(5): 855-860.
[10]	那聪;姜宏;蔡思翔;冯建;王红燕. 氩氧流量比对CeOx-SnOx膜微观结构及光学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(5): 861-866.
[11]	张禹;韦习成;余运龙;张浩. 过渡金属二硫族化合物在FET中的应用研究进展[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(5): 867-873.
[12]	阳生红;张曰理. 退火温度对Co掺杂CeO2稀磁氧化物薄膜的结构和铁磁性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(3): 398-403.
[13]	翟章印;杜维嘉. Tb掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag异质结的光敏特性研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(7): 1849-1853.
[14]	贾相华;左桂鸿;郑友进;姜宏伟;张辉霞;黄海亮. N掺杂MgxZn1-xO薄膜结构和光学性质研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(5): 1380-1385.
[15]	户芳;余春燕;梅伏洪;张华;许并社. GaN衬底掺杂模式对ZnO纳米棒光学性质的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(4): 946-950.