固结磨料研磨蓝宝石衬底的工艺研究

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (11): 2258-2264.

固结磨料研磨蓝宝石衬底的工艺研究

李鹏鹏;李军;王建彬;夏磊;朱永伟;左敦稳

南京航空航天大学机电学院,江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京210016

出版日期:2013-11-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51175260,50905086);中央高校基本科研业务专项资金(NP2012506,NS2013055);江苏省高校优势学科建设工程助项目

Study on the Lapping Process of Sapphire Substrate through Fixed Abrasive

LI Peng-peng;LI Jun;WANG Jian-bin;XIA Lei;ZHU Yong-wei;ZUO Dun-wen

Online:2013-11-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 为获得高材料去除率和优表面质量的蓝宝石衬底,采用固结磨料研磨蓝宝石衬底提高加工效率,研究研磨压强、工作台转速、三乙醇胺(TEA)浓度和研磨垫类型四个因素对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化获得高材料去除率和优表面质量的工艺参数.结果表明:有图案的研磨垫、研磨压强为100 kPa、工作台转速为120 r/min、三乙醇胺的浓度为5;为最优研磨工艺参数组合,固结磨料研磨蓝宝石的材料去除率为31.1 μm/min,表面粗糙度为0.309 μm.

中图分类号:

TH161
TG74+1

李鹏鹏;李军;王建彬;夏磊;朱永伟;左敦稳. 固结磨料研磨蓝宝石衬底的工艺研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(11): 2258-2264.

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