热处理和掺铝量对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜光电性能的影响

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (11): 2270-2274.

热处理和掺铝量对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜光电性能的影响

张丽丽;周炳卿;张林睿;李海泉

内蒙古师范大学物理与电子信息学院,功能材料物理与化学自治区重点实验室,呼和浩特010022

出版日期:2013-11-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51262022)

Effect of Heat Treatment and Al Doping Content on the Photoelectric Properties of AZO Thin Film Prepared by Sol-Gel Method

ZHANG Li-li;ZHOU Bing-qing;ZHANG Lin-rui;LI Hai-quan

Online:2013-11-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以(CH3COO)2Zn·2H2O和AlCl3·6H2O为前驱物,以普通玻璃为基底利用溶胶-凝胶旋转涂膜法制备AZO薄膜.采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等对AZO薄膜的物相组分、表面形貌、透射率和方块电阻进行测量与表征,并研究了热处理温度和掺铝量对AZO薄膜的结构和光电性能的影响.结果表明:AZO薄膜的结构和光电性能与不同的热处理温度和掺铝量有关,实验得到了最佳的工艺条件为热处理温度为500℃,热处理时间为60 min,掺Al溶度为1mol;,镀膜层数为8层.

中图分类号:

O484.4

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