金刚石颗粒双阴极等离子溅射铬镀层显微结构研究

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (2): 361-364.

金刚石颗粒双阴极等离子溅射铬镀层显微结构研究

王超;揭晓华;刘烨;徐江;陶洪亮;魏菊

广东工业大学材料与能源学院,广州,510006;南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京,210016;广东奔朗新材料股份有限公司,佛山,528313

出版日期:2014-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
粤港招标项目(2011243);广东省教育部产学研结合项目(2011B090400178)

Study on Microstructure of Cr-coated Diamond Processed by Ion Sputtering with Double Cathodes

WANG Chao;JIE Xiao-hua;LIU Ye;XU Jiang;TAO Hong-liang;WEI Ju

Online:2014-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 通过FIB-SEM观察了镀覆温度为850℃双阴极等离子溅射镀铬金刚石的表面形貌;利用TEM、XPS分析了镀层厚度、微观结构及表层元素价态;在光学显微镜下观察酸洗后金刚石的镀层变化情况.结果表明,经双阴极等离子溅射镀覆后的金刚石在其表层形成了厚度约为500 nm的柱状结构镀层,镀层晶粒尺寸约为10 nm;酸洗后镀层仅出现轻微脱落,说明金刚石铬镀层十分致密.

中图分类号:

TQ153

王超;揭晓华;刘烨;徐江;陶洪亮;魏菊. 金刚石颗粒双阴极等离子溅射铬镀层显微结构研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(2): 361-364.

WANG Chao;JIE Xiao-hua;LIU Ye;XU Jiang;TAO Hong-liang;WEI Ju. Study on Microstructure of Cr-coated Diamond Processed by Ion Sputtering with Double Cathodes[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2014, 43(2): 361-364.

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