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人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (3): 619-624.

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钟罩式硅烷反应器内流动与传热的数值模拟

黄国强;王乃治;潘金花   

  1. 天津大学化工学院,天津,300072
  • 出版日期:2014-03-15 发布日期:2021-01-20

Numerical Simulation of Flow and Heat Transfer in Silane Bell Jar Reactor

HUANG Guo-qiang;WANG Nai-zhi;PAN Jin-hua   

  • Online:2014-03-15 Published:2021-01-20

摘要: 针对硅烷热分解生产多晶硅的过程,建立了基于动量、质量、能量同时传递并耦合硅烷热分解反应的硅烷-氢气化学气相沉积模型,采用计算流体力学方法分析了传统钟罩式硅烷反应器内的流场、温度场和浓度场.针对普通反应器内存在的死区以及沉积速率不均匀的问题,提出了新型的带出气筒的反应器结构,并对结构进行了数值模拟.计算结果表明,与普通钟罩式硅烷反应器相比,新型反应器的流场、温度场以及硅烷浓度分布更加合理,有效减小了反应器内的漩涡,缓解了气体在进出口间的“短路”现象,使硅棒表面的沉积速率更加均匀.

关键词: 硅烷;多晶硅;钟罩反应器;数值模拟

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