SiC单晶片高效精密加工机理的仿真与实验研究

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (3): 693-697.

SiC单晶片高效精密加工机理的仿真与实验研究

肖强;何雪莉

西安工业大学机电工程学院,西安,710032;陕西师范大学计算机科学学院,西安,710062

出版日期:2014-03-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
陕西省教育厅项目资助(12JK0664);陕西省特种加工重点实验室资助(13JS044);陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室访问学者专项计划项目;陕西省特种加工重点实验室开放基金;校长基金项目(XAGDXJJ1007)

Simulation Analysis and Experimental Research of High Efficiency and Low Damage Processing Mechanism for SiC Single Crystal Chip

XIAO Qiang;HE Xue-li

Online:2014-03-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： SiC单晶作为理想的半导体材料,其特有晶体结构及高的材料硬脆性使其精密加工过程成为难点.本文基于SiC单晶材料去除机理,通过有限元方法对材料去除方式及应力进行了仿真及实验验证.仿真与实验的结果表明,基于超声复合研磨加工SiC单晶片,粗糙度降低达50;,材料去除率提高达100;.

中图分类号:

肖强;何雪莉. SiC单晶片高效精密加工机理的仿真与实验研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(3): 693-697.

XIAO Qiang;HE Xue-li. Simulation Analysis and Experimental Research of High Efficiency and Low Damage Processing Mechanism for SiC Single Crystal Chip[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(3): 693-697.

HTML			PDF

最新录用	在线预览	正式出版	最新录用	在线预览	正式出版
0	0	0	0	0	38

	来源	本网站

	次数	38
	比例	100%

摘要

最新录用	在线预览	正式出版

0	0	11

	来源	本网站

	次数	11
	比例	100%

[1]	王治强, 张齐, 梁颖, 王文欣, 陈琦. 磁场辅助法快捷制备Fe₃O₄@C光子晶体柔性复合薄膜[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 49-58.
[2]	万前银, 王强, 刘双全, 黄先超, 肖雄, 宋宝林, 蒋赟睿, 陶祖才, 丁雨憧. GAGG:Ce闪烁晶体光输出的温度特性研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2073-2078.
[3]	任永春, 李健达, 曹笑, 黄燚, 张帆, 张宁, 薛艳艳, 王庆国, 唐慧丽, 徐晓东, 董永军, 徐军. 高熔点稀土氧化物激光晶体的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1829-1839.
[4]	张志恒, 侯文涛, 刘坚, 李东振, 薛艳艳, 王庆国, 吕莎莎, 徐晓东, 徐军. Er³⁺掺杂CaYAlO₄晶体光谱和激光性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1868-1876.
[5]	黄秋凤, 邓志强, 陈剑, 郭旺, 邓种华, 刘著光, 黄集权. Cr掺杂YAG透明陶瓷的价态调控及光学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1909-1917.
[6]	陈杰, 沈世纪, 田燕娜, 周圣明. 铽铝石榴石磁光陶瓷真空固相反应制备及格位取代研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1927-1935.
[7]	窦仁勤, 黄磊, 王小飞, 高进云, 刘文鹏, 罗建乔, 张庆礼. Nd∶TSAG晶体的生长及性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1936-1943.
[8]	汪开强, 杨康, 靖正阳, 陈博文, 涂兵田, 王皓. Zn_1.1Ga_1.8Ge_0.1O₄透明陶瓷烧结过程的动力学研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1972-1980.
[9]	丁雨憧, 张灵, 李海林, 张月, 唐杨, 强铭, 林辉. 水平定向结晶法生长浓度渐变Yb∶YAG激光晶体及光谱性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1688-1698.
[10]	储冬冬, 杨志华, 潘世烈. 数据驱动的新型非线性光学材料理论设计研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1475-1493.
[11]	窦仁勤, 刘耀, 罗建乔, 王小飞, 刘文鹏, 张庆礼. Nd∶GdYAG激光晶体的光谱分析及热学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1504-1511.
[12]	焦思慧, 吴红萍, 俞洪伟. CsBa₂ScB₈O₁₆:首例结构中同时含有零维[B₃O₆]基元和一维B—O链的稀土硼酸盐[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1550-1559.
[13]	马启司, 刘江高, 折伟林, 曹聪, 张立超, 赵超, 范叶霞, 周振奇. 基于CGSim模拟的炉膛空气对流对碲锌镉晶体生长温场影响研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1344-1351.
[14]	杨帆, 张利, 李楚涵, 陈铭岳, 马致臻. 基于NaErF₄@NaYF₄上转换材料的高灵敏度变电站设备温度监测[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1434-1442.
[15]	王仲, 姜娇, 宋洋, 张磊, 谷泉. 轴对称低频局域共振声子晶体带隙分析及优化[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1177-1185.

SiC单晶片高效精密加工机理的仿真与实验研究

Simulation Analysis and Experimental Research of High Efficiency and Low Damage Processing Mechanism for SiC Single Crystal Chip

PDF (PC)

可视化

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 15

编辑推荐

Metrics

本文评价