La掺杂对ZnO纳米薄膜微观结构与光学特性的影响

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (8): 1948-1953.

La掺杂对ZnO纳米薄膜微观结构与光学特性的影响

朱婧;马书懿;李发明;麻琳;杨晓红;王彩云;李向兵

西北师范大学物理与电子工程学院,兰州,730070

出版日期:2014-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
甘肃省自然科学基金(1308RJZA258);西北师范大学大学生科研资助基金

Influence of La Doping on the Microstructures and Optical Properties of ZnO Thin Films

ZHU Jing;MA Shu-yi;LI Fa-ming;MA Lin;YANG Xiao-hong;WANG Cai-yun;LI Xiang-bing

Online:2014-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用射频磁控溅射方法在Si衬底上制备了不同掺杂量的La掺杂ZnO(ZnO∶La)薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计和光致荧光发光(PL)等表征技术,研究了不同掺杂量对ZnO∶ La薄膜的微观结构和光学特性的影响.结果表明,所有薄膜均只出现的(002)衍射峰,表明La3+可以替代ZB2或者进入ZnO晶格间隙,并未改变ZnO的六角纤锌矿结构.通过计算可知La掺杂可以抑制ZnO的晶粒增长.可见光范围的透过率超过80;,同时随着La掺杂量的增加,薄膜的光学带隙值逐渐增大.通过对光致发光谱的研究表明,La掺杂可以增强ZnO薄膜室温下的紫外光发光强度.

中图分类号:

O484

朱婧;马书懿;李发明;麻琳;杨晓红;王彩云;李向兵. La掺杂对ZnO纳米薄膜微观结构与光学特性的影响[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(8): 1948-1953.

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