超声喷雾热解法制备CeO2薄膜及性能研究

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (11): 3019-3024.

超声喷雾热解法制备CeO2薄膜及性能研究

刘晨;刘胜利;王海云;程杰;李兴鳌

南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210003;南京大学(苏州)高新技术研究院,苏州215123;南京大学(苏州)高新技术研究院,苏州215123;南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心,南京210003;南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心,南京,210003;南京邮电大学材料科学与工程学院,南京,210003

出版日期:2015-11-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
江苏省自然科学基金青年基金(BK20130376,BK20130855);国家自然科学基金(51172110,11405089);江苏省高校自然科学研究(13KJB140012);苏州市科技局纳米技术专项基金(ZXG201444);江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(2014-XCL-015);南邮校级科研项目(NY214131)

Characteristics of CeO2 Thin Films Prepared by Ultrasonic Spray Pyrolysis Method

LIU Chen;LIU Sheng-li;WANG Hai-yun;CHENG Jie;LI Xing-ao

Online:2015-11-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以硝酸铈(Ce(NO3)3·6H2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性.结果表明,随着沉积温度升高,薄膜择优生长取向逐渐变为(200);当沉积温度为500℃时,薄膜具有良好的致密性;薄膜在可见光区表现出近85;的高透过率,同时发现随着沉积温度升高,薄膜透过率逐渐增大,光吸收逐渐由缺陷吸收转变为本征吸收.

中图分类号:

O484.4+1

刘晨;刘胜利;王海云;程杰;李兴鳌. 超声喷雾热解法制备CeO2薄膜及性能研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(11): 3019-3024.

LIU Chen;LIU Sheng-li;WANG Hai-yun;CHENG Jie;LI Xing-ao. Characteristics of CeO2 Thin Films Prepared by Ultrasonic Spray Pyrolysis Method[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2015, 44(11): 3019-3024.

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