摘要： 针对定向凝固多晶硅铸锭炉内温场的分布特点,利用COMSOL 5.0模拟软件优化设计了定向凝固多晶硅铸锭炉内部坩埚形状,并对优化后铸锭炉内的温场分布进行了详细分析.结果表明:将坩埚底面由平底结构改进为凸底结构,可优化铸锭坩埚内的温场分布,使长晶界面的等温线趋于水平分布,进而可有效解决中心区域结晶过早、边角区域结晶过慢和边角区热诱导缺陷、杂质密度大等铸锭过程中存在的基本问题.
中图分类号:
陆晓东;张鹏;吴元庆;赵洋;王泽来;周涛;边玉强. 定向凝固多晶硅铸锭炉石英坩埚的改进与热场优化[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(11): 3179-3183.
LU Xiao-dong;ZHANG Peng;WU Yuan-qing;ZHAO Yang;WANG Ze-lai;ZHOU Tao;BIAN Yu-qiang. Thermal Field Optimization and Improvement of Directional Solidification of Polycrystalline Silicon Ingot Furnace Quartz Crucible[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2015, 44(11): 3179-3183.
E-mail Alert
RSS