定向凝固多晶硅铸锭炉石英坩埚的改进与热场优化

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (11): 3179-3183.

定向凝固多晶硅铸锭炉石英坩埚的改进与热场优化

陆晓东;张鹏;吴元庆;赵洋;王泽来;周涛;边玉强

渤海大学新能源学院,锦州,121000;锦州奥克阳光新能源有限公司,锦州,121000

出版日期:2015-11-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(11304020);辽宁省教育厅一般项目(L2012401)

Thermal Field Optimization and Improvement of Directional Solidification of Polycrystalline Silicon Ingot Furnace Quartz Crucible

LU Xiao-dong;ZHANG Peng;WU Yuan-qing;ZHAO Yang;WANG Ze-lai;ZHOU Tao;BIAN Yu-qiang

Online:2015-11-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 针对定向凝固多晶硅铸锭炉内温场的分布特点,利用COMSOL 5.0模拟软件优化设计了定向凝固多晶硅铸锭炉内部坩埚形状,并对优化后铸锭炉内的温场分布进行了详细分析.结果表明:将坩埚底面由平底结构改进为凸底结构,可优化铸锭坩埚内的温场分布,使长晶界面的等温线趋于水平分布,进而可有效解决中心区域结晶过早、边角区域结晶过慢和边角区热诱导缺陷、杂质密度大等铸锭过程中存在的基本问题.

中图分类号:

O614.8

陆晓东;张鹏;吴元庆;赵洋;王泽来;周涛;边玉强. 定向凝固多晶硅铸锭炉石英坩埚的改进与热场优化[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(11): 3179-3183.

LU Xiao-dong;ZHANG Peng;WU Yuan-qing;ZHAO Yang;WANG Ze-lai;ZHOU Tao;BIAN Yu-qiang. Thermal Field Optimization and Improvement of Directional Solidification of Polycrystalline Silicon Ingot Furnace Quartz Crucible[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2015, 44(11): 3179-3183.

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