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人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (2): 311-315.

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“类金字塔”状ZnO改善硅异质结电池近红外波段外量子效率

王宁;王奉友;张晓丹;王利果;郝秋艳;刘彩池;赵颖   

  1. 河北工业大学材料科学与工程学院,天津300130;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300071;河北工业大学材料科学与工程学院,天津,300130
  • 出版日期:2015-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CBA00706,2011CBA00707);天津市科技支撑项目(12ZCZDGX03600);国家高技术研究发展计划(863计划)(2013AA050302);天津市重大科技支撑计划项目(11TXSYGX22100);高等学校博士学科点专项科研基金(20120031110039)

Improvement of External Quantum Efficiency for Silicon Heterojunction Cell in the Near-infrared Band Improved by "Pyramid" Morphology ZnO

WANG Ning;WANG Feng-you;ZHANG Xiao-dan;WANG Li-guo;HAO Qiu-yan;LIU Cai-chi;ZHAO Ying   

  • Online:2015-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 因晶体硅是间接带隙半导体材料,其较低的吸收系数限制了对近红外波段入射光的吸收.为此,引入金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术制备的ZnO薄膜,并通过改变掺杂流量和沉积时间调节ZnO∶ B(BZO)薄膜的光学和电学性能.将BZO薄膜用于硅异质结(SHJ)太阳电池的背反射电极,相比于传统结构,电池的反射率和外部量子效率在近红外波段得到显著改善.为进一步解释外量子效率增加的原因,在四甲基氢氧化铵(TMAH)湿法制绒的硅衬底上沉积BZO薄膜,得到了新型微纳米嵌套结构,并对其光吸收进行了测试分析.

关键词: ZnO∶B薄膜;金属有机化学气相沉积;外量子效率;异质结太阳电池

中图分类号: