晶体硅表面Ag纳米颗粒形貌控制及其对黑硅性能的影响

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (2): 520-524.

晶体硅表面Ag纳米颗粒形貌控制及其对黑硅性能的影响

贾淑婷;王苏尧;韩志达;夏金威;薛丹丹;张磊

常熟理工学院物理与电子工程学院,常熟,215500

出版日期:2015-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51371004);江苏省高校自然科学研究项目(14KJB480001)

Morphology Control of Ag Nanoparticles Deposited on c-Si Surface and Its Influence on the Properties of Black Silicon

JIA Shu-ting;WANG Su-yao;HAN Zhi-da;XIA Jin-wei;XUE Dan-dan;ZHANG Lei

Online:2015-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用湿法化学法在太阳能级Si(100)表面沉积Ag纳米颗粒,并对Ag颗粒进行了退火处理.利用扫描电子显微镜研究了不同沉积时间及退火工艺对硅片表面Ag纳米颗粒形貌的影响规律.在此基础上采用退火前后的Ag纳米颗粒辅助化学腐蚀法制备了黑硅减反射结构,并用扫描电子显微镜观察了所制备黑硅的微结构,用紫外-可见分光光度计研究了所制备黑硅的反射率.研究表明,制备的Ag颗粒为不规则片状结构,并且随Ag沉积时间的延长,Ag颗粒逐渐长大.通过对样品退火处理,Ag颗粒收缩成球状纳米颗粒.利用未退火的Ag颗粒制备的黑硅呈不规则纳米线状微结构,在300 ～ 1100 nm范围内平均反射率为2.7;;而利用退火后球状Ag纳米颗粒制备的黑硅则呈多孔状微结构,同样波长范围内平均反射率为14.2;.

中图分类号:

TB34

贾淑婷;王苏尧;韩志达;夏金威;薛丹丹;张磊. 晶体硅表面Ag纳米颗粒形貌控制及其对黑硅性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(2): 520-524.

JIA Shu-ting;WANG Su-yao;HAN Zhi-da;XIA Jin-wei;XUE Dan-dan;ZHANG Lei. Morphology Control of Ag Nanoparticles Deposited on c-Si Surface and Its Influence on the Properties of Black Silicon[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2015, 44(2): 520-524.

[1]	周伶俐, 兰翠玲, 谢瑞刚, 杨一松, 秦冯详. 花状NiCo-LDH/CB复合材料的制备及其电化学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(12): 2331-2335.
[2]	张蒙, 赵炳新, 王娟, 程宏飞. 硬脂酸/插层高岭石复合相变材料的制备和热性能研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(12): 2365-2370.
[3]	王洋;铁生年;代鑫;郝保康. 二氧化硅包覆芒硝基相变储能微胶囊制备及性能表征[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(10): 1924-1929.
[4]	邓海山;姚舜;周月霞;陈甲;曹敏驰;王友法. 小尺寸、单分散Cd2+掺杂β-NaLuF∶Yb,Er上转换纳米晶的合成[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(7): 1208-1216.
[5]	江民红;倪双阳;姚小玉;李文迪;李德东;许亚萍;饶光辉. 固相晶体生长技术的发展 ——从籽晶诱导到无籽晶生长[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(6): 965-978.
[6]	张锦;惠增哲;王信哲;龙伟;崔梦晨;邹梦星. PMN-PT:Er3+铁电晶体的光谱特性与J-O理论分析[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(6): 1023-1029.
[7]	郭颢;张荣良;鲁琴瑶;曾加;李聪. 常压水解-离子交换法制备TiO2负极材料及其电化学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(6): 1129-1133.
[8]	邱小小;周细应;王连军;江莞. 高性能GeTe基热电材料的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(5): 920-929.
[9]	时晓磊;陆晓芳;苏莉;顾士甲;周蓓莹;王连军;江莞. 不同表面活性剂制备n型Bi2Te3热电材料[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(4): 677-683.
[10]	张锦;惠增哲;何爱国;王信哲;王梓骅. PSN-PMN-PT∶Er3+晶体Judd-Ofelt理论分析[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(12): 2179-2185.
[11]	王保柱;孟帆帆;孟立智;王敏. 基于第一性原理的AlGaN合金热电性质研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(12): 2249-2254.
[12]	张理元;尤佳;董志红;钟雅洁;李倩文;由耀辉;刘义武;孙绪兵. Ag修饰氟化二氧化钛的制备及光催化性能研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(10): 1898-1906.
[13]	李培;范胜杰;王连军;江莞. 退火工艺对水热合成SnSe多晶材料热电性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(10): 1927-1932.
[14]	任国浩. 无机闪烁晶体在我国的发展史[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1373-1385.
[15]	赵梦杰;叶帅;宋军. 溶剂热法合成CsPbBr3量子点的研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1469-1473.