降温速率对三维温度梯度法蓝宝石单晶影响的数值模拟

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (2): 558-562.

降温速率对三维温度梯度法蓝宝石单晶影响的数值模拟

张杰;倪屹;刘棋奇;马文成;李留臣

江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室,无锡,214122;江苏有能光电科技有限公司,镇江,212132;江苏华盛天龙光电设备股份有限公司,金坛,213200

出版日期:2015-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
教育部新世纪优秀人才计划(NCET-111-0659);江苏省产学研联合创新资金-前瞻性联合研究项目(BY2014023-11)

Numerical Simulation on Effect of Cooling Rate on Sapphire Single Crystal Growth with Three-dimensional Gradient Freezing(3DGF)

ZHANG Jie;NI Yi;LIU Qi-qi;MA Wen-cheng;LI Liu-chen

Online:2015-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 通过有限元分析方法对三维温度梯度法(3DGF)单晶炉内的温场进行数值模拟计算,发现固液交界面附近存在较大的温度梯度,易导致晶体开裂;通过改进坩埚内壁锥度,调整底部隔热屏的结构,选择合适的降温程序取得了较好的实验效果.结果表明,在三维温度梯度法蓝宝石晶体生长过程中,合适的温度梯度和控温程序能够缩短生长周期,提高晶体质量.

中图分类号:

TN304

张杰;倪屹;刘棋奇;马文成;李留臣. 降温速率对三维温度梯度法蓝宝石单晶影响的数值模拟[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(2): 558-562.

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