摘要: 利用自行研制的可调谐圆柱谐振腔式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置的结构优势,设计了电极可调节的偏压加强MPCVD装置.采用脉冲激光沉积(PLD)法制备了Ir(100)/MgO (100)基片.采用偏压加强MPCVD装置进行了金刚石异质外延形核的探索,在Ir(100)/MgO (100)基片上实现了金刚石异质外延形核.扫描电镜结果显示,[100]取向的金字塔状外延金刚石晶粒的形核密度达108~109 cm-2.
中图分类号:
李义锋;佘建民;苏静杰;唐伟忠;李效民;徐小科. 偏压加强MPCVD法Ir(100)/MgO(100)基片上金刚石异质外延形核[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(4): 896-901.
LI Yi-feng;SHE Jian-min;SU Jing-jie;TANG Wei-zhong;LI Xiao-min;XU Xiao-ke. Heteroepitaxial Nucleation of Diamond on Ir(100)/MgO(100) Substrate by Bias Enhanced Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition Method[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2015, 44(4): 896-901.